Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Záznam emisního spektra plazmatu během reaktivního iontového leptání umožňuje charakterizaci leptaných látek a kontrolu nad leptacím procesem. V rámci této diplomové práce je navržen spektroskopický systém v konfiguraci Czerny-Turner, pro použití na systému reaktivního iontového leptání. Vyvinutý spektroskop dosahuje rozlišení 1 nm v oblasti 350-800 nm. Zařízení bylo testováno během reaktivního iontového leptání křemíku.
Measurement of absorption spectra of plasma during reactive ion etching enables characterization of etched species and control over the etching process. Aim of this diploma thesis is to design spectroscope with Czerny-Turner configuration for reactive ion etching system. Developed spectroscope achieves 1 nm resolution in 350-800 nm range. Device was tested during reactive ion etching of silicon.
Measurement of absorption spectra of plasma during reactive ion etching enables characterization of etched species and control over the etching process. Aim of this diploma thesis is to design spectroscope with Czerny-Turner configuration for reactive ion etching system. Developed spectroscope achieves 1 nm resolution in 350-800 nm range. Device was tested during reactive ion etching of silicon.
Description
Citation
ŠILHAN, L. Konstrukce spektroskopického systému pro systém reaktivního iontového leptání [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Přesná mechanika a optika
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2019-06-19
Defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno:
Není z hlediska výroby náročný tvar spektrometru?
Co by se v návrhu muselo změnit, aby šlo o zobrazovací spektrometr.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení