Modifikace povrchu nanokapkami ovládanými elektronovou pinzetou
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato diplomová práce se zabývá modifikací povrchu germania pomocí kapek slitiny Au-Ge, jejichž pohyb je ovládán elektronovým svazkem. Práce je rozdělena na dvě části. Teoretická část je pojata jako přehled měřicích a výrobních technik použitých pro experimenty dále rozvedené v praktické části. Jednotlivé techniky jsou popsány s důrazem především na témata nutná k pochopení provedení a výsledků experimentů. Mimo jiné je zde probrána mikroskopie atomárních sil, rastrovací elektronová mikroskopie a elektronová litografie. Krom toho obsahuje teoretická část kapitolu o materiálovém systému zlato-germanium a pohybu kapek slitiny Au-Ge. Praktická část je přibližně chronologicky řazeným průvodcem provedenými experimenty a zpracováním jejich výsledků. To zahrnuje hledání vhodné metody přípravy vzorků, samotnou práci s kapkami, a také kvantifikaci následků jejich pohybu. Nemalá pozornost je věnována též teplotní kalibraci ohřívacího systému.
This master's thesis is focused on the study of the consequences of electron beam induced motion of Au-Ge alloy nanodroplets on germanium surface. The text consists of two parts. The theoretical part gives an overview of measurement and fabrication techniques used for the experiments. The description of these techniques is mainly focused on topics needed to understand the ideas behind the experiments and their results. The topics covered here are the Atomic Force Microscopy, Scanning Electron Microscopy and Electron Beam Lithography. These are followed by an introduction to the gold-germanium material system and the movement of Au-Ge alloy nanodroplets. The practical part gives a roughly chronological guide throughout the whole experimental process, including the search for a suitable sample fabrication method, the surface modification itself and its measurement. Temperature calibration of the heating system is also mentioned.
This master's thesis is focused on the study of the consequences of electron beam induced motion of Au-Ge alloy nanodroplets on germanium surface. The text consists of two parts. The theoretical part gives an overview of measurement and fabrication techniques used for the experiments. The description of these techniques is mainly focused on topics needed to understand the ideas behind the experiments and their results. The topics covered here are the Atomic Force Microscopy, Scanning Electron Microscopy and Electron Beam Lithography. These are followed by an introduction to the gold-germanium material system and the movement of Au-Ge alloy nanodroplets. The practical part gives a roughly chronological guide throughout the whole experimental process, including the search for a suitable sample fabrication method, the surface modification itself and its measurement. Temperature calibration of the heating system is also mentioned.
Description
Citation
DAO, R. Modifikace povrchu nanokapkami ovládanými elektronovou pinzetou [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2020-07-13
Defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno:
Způsob určování nejistot průměrné hloubky
Jaké procesy probíhají, když se kapka nehýbe.
Student otázky zodpověděl.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení