Úprava konstrukce zařízení pro měření rozptylu laserového světla z drsných povrchů

Loading...
Thumbnail Image
Date
ORCID
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato diplomová práce se zabývá konstrukční úpravou detekční části laboratorního přístroje pro měření topografie drsných povrchů – laserového goniometrického skaterometr (SM II). Konstrukční úprava vychází ze záměny doposud používaného detektoru za kvalitnější a rozměrnější detektor slepšími parametry pro měření. První část diplomové práce obsahuje teoretický základ nezbytný pro pochopení souvislostí skalární teorie difrakce směřením rozptylu monochromatického světla. Poukazuje na důležitost volby vhodných souřadnic detekce, jenž klíčově ovlivňují aberace detekovaného difraktovaného světla. Praktická část se věnuje vylepšení citlivosti detekční části skaterometru SM II používaného vLaboratoři koherenční optiky na ÚFI FSI VUT. Tato část obsahuje odůvodnění výběru daného detektoru, který předurčuje, jak použití optických prvků, tak celkovou konstrukci detekční části SM II .
This diploma thesis deals with a design modification of detection part of the laboratory instrument for measuring the topography of rough surfaces – laser goniometric scatterometer (SM II). Design modification is based on replacement of so far used detector instead for the detector of higher quality with better measurement parameters. The first part of the diploma thesis contains theoretical basics, which are necessary to understand the relationship between scalar diffraction theory and scattering measurements of monochromatic light. The emphasis is on the importance of choosing appropriate detection coordinates, which are affecting the aberrations of detected diffracted light. The practical part is dedicated to improving the sensitivity of the detection part of the scatterometer SM II that is used in The laboratory of coherence optics at IFE FME BUT. This part justifies the choice of the detector which predetermines both the use of optical elements and the overall design of the detection part as the goniometer.
Description
Citation
JAWORKOVÁ, M. Úprava konstrukce zařízení pro měření rozptylu laserového světla z drsných povrchů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2020-07-14
Defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Vliv mechanické tuhosti navženého zařízení na rychlost měření. Studentka na otázku odpověděla.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení
DOI
Collections
Citace PRO