Příprava vzorků a jejich měření metodami EDS
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato bakalářská práce je zaměřena na výrobu a analýzu vzorků pomocí energiové disperzní spektroskopie s využitím rastrovací elektronové mikroskopie. V teoretické části jsou popsány hlavní rozdíly mezi enviromentálním rastrovacím mikroskopem a rastrovacím elektronovým mikroskopem. Jsou zde také popsány základní poznatky z oblasti energiové disperzní spektroskopie. Dále je zde vysvětlen vznik a detekce signálů vznikajících při interakci svazku primárních elektronů se vzorkem s důrazem na popis, vznik a rozdělení těchto signálů. V praktické částí je práce zaměřena na výrobu a analýzu experimentálních vzorků.
This bachelor´s thesis is focused on preparation and analysis of samples by energy dispersive spectroscopy using scanning electron microscopy. In the theoretical the main differences between environmental scanning electron microscopy and scanning electron microscopy are described. There is also a description of basic knowledge regarding energy dispersive spectroscopy. The generation and detection of signals arising from the interaction of a beam of primary electrons with a sample is also explained, with emphasis on the description, generation and distribution of these signals. The experimental part is focused on sample preparation and analysis.
This bachelor´s thesis is focused on preparation and analysis of samples by energy dispersive spectroscopy using scanning electron microscopy. In the theoretical the main differences between environmental scanning electron microscopy and scanning electron microscopy are described. There is also a description of basic knowledge regarding energy dispersive spectroscopy. The generation and detection of signals arising from the interaction of a beam of primary electrons with a sample is also explained, with emphasis on the description, generation and distribution of these signals. The experimental part is focused on sample preparation and analysis.
Description
Keywords
Enviromentální rastrovací elektronová mikroskopie, energiově disperzní spektroskopie, signální elektrony, rentgenové záření, rozptyl elektronů, výroba vzorku, prvková mikroanalýza, Environmental scanning electron microscopy, energy-dispersive spectroscopy, signal electrons, X-ray radiation, electron scattering, sample preparation, elemental microanalysis
Citation
KOSTELNÍK, T. Příprava vzorků a jejich měření metodami EDS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2022.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (předseda)
Ing. Miroslav Zatloukal (místopředseda)
Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen)
Ing. Radek Bilko, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2022-06-14
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a komise.
Otázky:
1. Proč klesa množství mědi v závislosti na tlaku v komoře?
2. Měli jste stanovenou hodnotu tloušťky pro finální meření?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení