Ionizační detektor pro ESEM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Diplomová práce je zaměřena na problematiku environmentálních rastrovacích elektronových mikroskopů, včetně popisu základních fyzikálních mechanismů. Popisuje návrh a realizaci elektrodového systému ionizačního detektoru vhodného pro detekci signálních elektronů s větším podílem sekundárních elektronů. Dále se zabývá simulacemi drah elektronů v elektrostatickém poli detektoru a ověřením funkčnosti detektoru v prostředí vodních par v komoře vzorku elektronového mikroskopu.
This thesis is focused on the environmental scanning electron microscopes including a description of the basic physical mechanisms. It describes the design and realization of the electrode ionization detector system suitable for the detection of signal electrons with a greater proportion of secondary electrons. It also deals with simulations of trajectories of electrons in the electrostatic field of the detector, and with verification of the functionality of the detector in the environment of water vapors in the specimen chamber of the electron microscope.
This thesis is focused on the environmental scanning electron microscopes including a description of the basic physical mechanisms. It describes the design and realization of the electrode ionization detector system suitable for the detection of signal electrons with a greater proportion of secondary electrons. It also deals with simulations of trajectories of electrons in the electrostatic field of the detector, and with verification of the functionality of the detector in the environment of water vapors in the specimen chamber of the electron microscope.
Description
Citation
POKLUDA, T. Ionizační detektor pro ESEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2013.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (místopředseda)
Ing. Ivana Groligová, CSc. (člen)
Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Date of acceptance
2013-06-12
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Čím si vysvětlujete, že v obrázcích na str. 43 je např. při 500 Pa signál pro vzdálenost 3 mm a Ue=0V získaný detektorem ID1, nižší jak při 5mm.
Pokuste se zamyslet a rozeberte vlivy pracovní vzdálenosti na velikosti jednotlivých signálů i kontrastu.
Co je hlavní přínos vaší práce?
Jaký je vztah mezi zvětšením a kontrastem?
Jaký vliv mělo napětí na získaný kontrast?
O čem dávají informace BSE?
Při jakém tlaku byli pořízeny snímky z mikroskopu?
Jak se přivádí vodní páry do mikroskopu?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení