Ionizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. V práci je vysvětlen rozdíl mezi rastrovacím elektronovým mikroskopem a environmentálním rastrovacím elektronovým mikroskopem. Dále je popsána emise a detekce vybraných signálů vznikajících při interakci primárních elektronů se vzorkem v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Důraz je kladen na popis, rozdělení a způsob detekce sekundárních elektronů. V práci je popsán princip funkce ionizačních a scintilačních detektorů. V experimentální části práce je uveden návrh konstrukce tří různých elektrodových systémů deskového ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Na základě měření s navrženými detektory je vybrán detektor s nejvyšší kvalitou detekce signálu.
This thesis deals with problematics of a detection of secondary electrons by ionization detector for environmental scanning electron microscope. In this thesis is described the difference between scanning electron microscope and environmental scanning electron microscope. Further there is described emission and detection of the choosen signals that arise while primary electrons are interacting with a specimen in scanning electron microscope. A special emphasis is placed on a description, sorting and on the form of detection of secondary electrons. In thesis there is described principle of a function of ionization a scintilation detectors. Experimental part of thesis describes design of 3 different elctrode systems of a tabular ionization detector, which will be intended to be placed in environmental scanning electron microscope. Based on measuring with the detectors, with experimental design, there is chosen one with the highest quality of signal detection.
This thesis deals with problematics of a detection of secondary electrons by ionization detector for environmental scanning electron microscope. In this thesis is described the difference between scanning electron microscope and environmental scanning electron microscope. Further there is described emission and detection of the choosen signals that arise while primary electrons are interacting with a specimen in scanning electron microscope. A special emphasis is placed on a description, sorting and on the form of detection of secondary electrons. In thesis there is described principle of a function of ionization a scintilation detectors. Experimental part of thesis describes design of 3 different elctrode systems of a tabular ionization detector, which will be intended to be placed in environmental scanning electron microscope. Based on measuring with the detectors, with experimental design, there is chosen one with the highest quality of signal detection.
Description
Keywords
Ionizační detektor, ionizace plynů, sekundární elektrony, zpětně odražené elektrony, primární elektrony, rastrovací elektronový mikroskop, environmentální rastrovací elektronový mikroskop, Ionization detector, gas ionization, secondary electrons, back scattered electrons, primary electrons, scanning electron microscope, environmental scanning electron microscope
Citation
DUŠEK, P. Ionizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2013.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (místopředseda)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2013-06-17
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Jakou jednotku má veličina velikost signálu?
Z čeho jste vycházel při návrhu ionizačních detekorů?
Proč jsou lepší než již používané?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení