Optimalizace procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného scattermeterem
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato práce se zabývá optimalizací procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného pomocí scatterometru. V práci je popsáno několik metod použitelných k nalezení souboru pozic nepřekrývajících se kruhových detektorů na povrchu polokoule (i koule). Výsledky práce jsou aplikovány na samotný meřicí přístroj a je ukázána shoda experimentálních výsledku získaných před i po optimalizaci. Výhodu nového uspořádání lze nalézt především v převedení dřívejšího způsobu měření na soubor nezávislých měření, což má význam pro matematické zpracování výsledků.
This work concerns with optimizing the measurement procedure of the optical radiation scattered from a solid surface performed by the scattermeter. The major part is devoted to the description of methods of finding set of positions of non-overlapping circular detectors on a surface of a hemisphere (or a sphere). Results of the optimization are applied to the measurement device. The agreement of the previous and new measurement procedures is shown in the end of this work. The crucial advantage of the new procedure is that the new set of point allows us to treat the measured values independently. This is useful for the mathematical processing of the results.
This work concerns with optimizing the measurement procedure of the optical radiation scattered from a solid surface performed by the scattermeter. The major part is devoted to the description of methods of finding set of positions of non-overlapping circular detectors on a surface of a hemisphere (or a sphere). Results of the optimization are applied to the measurement device. The agreement of the previous and new measurement procedures is shown in the end of this work. The crucial advantage of the new procedure is that the new set of point allows us to treat the measured values independently. This is useful for the mathematical processing of the results.
Description
Citation
KLUS, J. Optimalizace procedury měření optického záření rozptýleného pevnými tělesy prováděného scattermeterem [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2013.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
en
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2013-06-18
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení