Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.
This work contains description of basic properties and principles of electron microscopy focused on scanning electron microscopy. It describes construction solutions of a microscope, interaction between electron beam and sample, generation of backscattered and secondary electrons. Next chapters are dealing with development of electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. The experimental part of this thesis is focuses on the detection of secondary electrons with scintillation detector in environmental scanning electron microscope at higher pressure in the specimen chamber. Concretely is focused on optimization of collecting grid voltage and measurement of pressure dependences.
This work contains description of basic properties and principles of electron microscopy focused on scanning electron microscopy. It describes construction solutions of a microscope, interaction between electron beam and sample, generation of backscattered and secondary electrons. Next chapters are dealing with development of electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. The experimental part of this thesis is focuses on the detection of secondary electrons with scintillation detector in environmental scanning electron microscope at higher pressure in the specimen chamber. Concretely is focused on optimization of collecting grid voltage and measurement of pressure dependences.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM), transmisní elektronová mikroskopie (TEM), elektronová tryska, sekundární elektrony (SE), zpětně odražené elektrony (BSE), scintilační detektor (SD), environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM)., Scanning electron microscope (SEM), transmission electron microscopy (TEM), electron gun, secondary electrons (SE), back scattered electrons (BSE), scintillation detector (SD), environmental scanning electron microscope (ESEM)
Citation
KOZELSKÝ, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (předseda)
Ing. Zdenka Rozsívalová (místopředseda)
doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Kubelka (člen)
doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-12
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi se zadáním, zpracováním a výsledky své bakalářské práce
a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Jak se měří tlak vodních par?
Jaké barometry používáte?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení