Kvalitativní srovnání MEMS snímačů vibrací
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Cílem této bakalářské práce je kvalitativní ověření parametrů MEMS snímačů vibrací s použitím kalibračních zařízení od firem SPECTRA a Brüel & Kjr. První část této práce se zabývá různými typy MEMS snímačů vibrací na piezorezistivním, kapacitním a tepelném principu činnosti. Dále je v práci pojednáno o primárních a sekundárních metodách kalibrace snímačů vibrací a o zařízeních používaných pro tyto metody kalibrace. Druhou částí bakalářské práce je použití kalibračních řetězců a sekundární metody kalibrace pro ověření citlivostí a teplotních závislostí tří konkrétních MEMS akcelerometrů od firem STMicroelectronics, MEMSIC a Panasonic. Naměřené charakteristiky jsou porovnány s katalogovými listy výrobců. Na konec jsou zde také uvedeny možnosti potlačení těchto teplotních vlivů.
The aim of this bachelor thesis is a qualitative parameter validation of MEMS vibration sensors using calibration devices from the companies SPECTRA a Brüel & Kjr. First part of study deals with different types of MEMS vibration sensors on the piezoresistive, capacitive and thermal principle of operation. The study also deals with primary and secondary methods of calibration of vibration sensors and devices used for these calibration methods. The second part of the thesis is to use the calibration chains and secondary calibration methods to verify the sensitivity and temperature dependences of three particular MEMS accelerometers from the companies STMicroelectronic, MEMSIC and Panasonic. The measured characteristics are compared with catalog datasheets. In the end of the thesis are also discussed the possibility of the suppression these temperature effects.
The aim of this bachelor thesis is a qualitative parameter validation of MEMS vibration sensors using calibration devices from the companies SPECTRA a Brüel & Kjr. First part of study deals with different types of MEMS vibration sensors on the piezoresistive, capacitive and thermal principle of operation. The study also deals with primary and secondary methods of calibration of vibration sensors and devices used for these calibration methods. The second part of the thesis is to use the calibration chains and secondary calibration methods to verify the sensitivity and temperature dependences of three particular MEMS accelerometers from the companies STMicroelectronic, MEMSIC and Panasonic. The measured characteristics are compared with catalog datasheets. In the end of the thesis are also discussed the possibility of the suppression these temperature effects.
Description
Keywords
Citation
HASÍK, S. Kvalitativní srovnání MEMS snímačů vibrací [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Automatizační a měřicí technika
Comittee
prof. Ing. Karel Hájek, CSc. (předseda)
doc. Ing. Petr Blaha, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. Petr Fiedler, Ph.D. (člen)
Ing. Marie Havlíková, Ph.D. (člen)
Ing. Radek Štohl, Ph.D. (člen)
mjr. Ing. Václav Křivánek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2014-06-17
Defence
Student obhájil bakalářskou práci a úspěšně zodpověděl položené dotazy.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení