Polovodičové senzory plynů na bázi oxidu ciničitého
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Práce se zabývá polovodičovými senzory plynů, jejichž aktivní vrstva je tvořena oxidem ciničitým (SnO2). V první části jsou rozděleny senzory plynů dle principu jejich funkčnosti. Dále je popsán princip fungování polovodičových SnO2 senzorů a možné modifikace této aktivní vrstvy. Praktická část komplexně shrnuje senzor plynů od jeho návrhu až po samotnou výrobu, testování a charakterizaci. Při konstrukci senzoru bylo využito několika mikroelektronických technologií, jako je například tenkovrstvá, tlustovrstvá, LTCC, spray-coating nebo wire-bonding technologie. V samotném závěru jsou shrnuty vlastnosti vyrobených senzorů a rozdíly ve funkčnosti modifikovaného a nemodifikovaného senzoru.
This project is aimed at semiconductive gas sensors based on tin dioxide. In the first part, gas sensors are divided depending on their principal of functionality. Next part is about functionality of tin dioxide gas sensors and the possibilities of active layer modification. Experimental describes gas sensor from its drawing until construction, testing and characterization. Several microelectronic technologies such as thin-film, thick-film, LTCC, spray-coating or wire-bonding were used for constructing the sensor. In the last part properties of gas sensors and differences in functionality between modified and unmodified gas sensor are summarized.
This project is aimed at semiconductive gas sensors based on tin dioxide. In the first part, gas sensors are divided depending on their principal of functionality. Next part is about functionality of tin dioxide gas sensors and the possibilities of active layer modification. Experimental describes gas sensor from its drawing until construction, testing and characterization. Several microelectronic technologies such as thin-film, thick-film, LTCC, spray-coating or wire-bonding were used for constructing the sensor. In the last part properties of gas sensors and differences in functionality between modified and unmodified gas sensor are summarized.
Description
Citation
GABLECH, I. Polovodičové senzory plynů na bázi oxidu ciničitého [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika
Comittee
doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (předseda)
doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Petr Kosina, Ph.D. (člen)
Ing. Michal Pavlík, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Arnošt Bajer, CSc. (člen)
Date of acceptance
2014-06-11
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Dále student zodpověděl doplňující otázky:
Na čem závisí obecně citlivost těchto senzorů? Víte, jaké selektivní vrstvy se používají v případě detekce oxidu uhelnatého? Jakým způsobem probíhalo testování senzoru (konfigurace měřicí aparatury)? Má struktura vytvořeného povrchu vliv na rychlost reakce senroru na změnu měřené veličiny?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení