Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce.
This work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection.
This work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (REM), primární elektrony (PE), sekundární elektrony (SE), zpětně odražené elektrony (BSE), scintilační detektor (SD), environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM)., Scanning electron microscope (SEM), primary electrons (PE), secondary electron (SE), backscattered electrons (BSE), scintillation detector (SD), environmental scanning electron microscope (ESEM).
Citation
ODEHNAL, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (místopředseda)
doc. RNDr. Andrea Straková Fedorková, Ph.D. (člen)
Ing. Ondřej Čech, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Adámek, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (člen)
Date of acceptance
2014-06-16
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky v diskuzi:
Na jakém principu pracuje scintilační detektor?
Z jakého materiálu je vyroben scintilační detektor?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení