Řízení procesu reaktivního magnetronového naprašování
Loading...
Date
Authors
ORCID
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Bakalářská práce stručně popisuje technologii reaktivního magnetronového naprašování a zabývá se návrhem a realizací programu k jeho ovládání. K tomuto účelu byl vytvořen ovládací program pro řízení jednotlivých komponent aparatury PLS160 v programovacím prostředí LabView. Na základě znalostí technologického procesu a postupu reaktivního magnetronového naprašování byl vytvořen automatický program. Tento automatický program je možné modifikovat pomocí receptů. Vedle programové skladby byly provedeny mechanické a elektrické změny aparatury. Celý automatizovaný proces byl testován.
Bachelor's thesis concisely describes technology of reactive magnetron sputtering and deals with the design and realization of controlling program. For this purpose it was created the control program for steering of individual components of apparatus PLS 160 in programming enviroment Labview. On basis of the knowledge of technological process and procedures of reactive magnetron sputtering the automatic program was created. This program can be modified using recipes. Besides program structures mechanical and electrical changes of apparatus were made. The entire automated process was tested.
Bachelor's thesis concisely describes technology of reactive magnetron sputtering and deals with the design and realization of controlling program. For this purpose it was created the control program for steering of individual components of apparatus PLS 160 in programming enviroment Labview. On basis of the knowledge of technological process and procedures of reactive magnetron sputtering the automatic program was created. This program can be modified using recipes. Besides program structures mechanical and electrical changes of apparatus were made. The entire automated process was tested.
Description
Keywords
LabView, regulátory průtoku, vakuometr Baratron, převodník PR 4000B-F, COM porty, generátor Cesar 136, pulzní generátor Pinnacle Plus, modul Quido USB 8/8, LabView, flow regulators, vacuum gauge Baratron, converter PR 4000B-F, COM ports, generator Cesar 136, pulse generator Pinnacle Plus, module Quido USB 8/8
Citation
DUŠEK, J. Řízení procesu reaktivního magnetronového naprašování [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jaromír Brzobohatý, CSc. (předseda)
doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (místopředseda)
doc. Ing. Jana Drbohlavová, Ph.D. (člen)
Ing. Milan Šesták (člen)
Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2014-06-16
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky komise:
1) Jaká je reprodukovatelnost receptů?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení