Návrh větrání čistého pracoviště pro elektrotechnický průmysl
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Diplomová práce zpracovává návrh klimatizace čistého pracoviště pro výrobu polovodičových součástek v elektrotechnickém průmyslu. Pro toto pracoviště jsou zadáním specifikovány vysoké nároky na čistotu vzduchu, toleranci pracovní teploty a relativní vlhkost. Diplomová práce v první části shrnuje základní teorii návrhu, klasifikací, výstavby a provozování čistých prostorů se zaměřením na elektrotechnický průmysl. V části řešení daného úkolu dle zadaných parametrů jsou provedeny potřebné výpočty a na jejich základě je navrţena koncepce klimatizace, která především zahrnuje: - Stanovení vzduchových bilancí a počtu výměn na jednotlivých pracovištích. - Stanovení systému vícestupňové filtrace. - Určení způsobu proudění vzduchu a ne jeho základě návrh systému přívodu a odvodu vzduchu, návrh distribučního potrubí vzduchu. - Návrh VZT jednotek a jejich umístění ve strojovně vzduchotechniky.
The work describes an air conditioning and circulation system of a clean room environment in of a semiconductor production site. It is based on given requirements for air cleanness, temperature preasure and relative moisture. The first half of the work describes the way the system should work, classification of construction and operation of the site. The second half describes the calculations of the given parameters on which the system is designed. The calculations deal with - Air exchange and maintaining the required parameters - Designing the muti stage air filtration system - Designing the air flow speed, intake and outlet parameters of the air conditiong distribution system - Desingning the air conditioning units and their possitioning in the utility room
The work describes an air conditioning and circulation system of a clean room environment in of a semiconductor production site. It is based on given requirements for air cleanness, temperature preasure and relative moisture. The first half of the work describes the way the system should work, classification of construction and operation of the site. The second half describes the calculations of the given parameters on which the system is designed. The calculations deal with - Air exchange and maintaining the required parameters - Designing the muti stage air filtration system - Designing the air flow speed, intake and outlet parameters of the air conditiong distribution system - Desingning the air conditioning units and their possitioning in the utility room
Description
Keywords
Čistý prostor, Čistá zóna, Čistota, Třída čistoty, Částice, Koncentrace částic, Klasifikace, Klasifikační číslo, Stav obsazení čistých prostor, Stavebně dokončený, Technologicky připravený, Provozní stav, Nejednosměrné proudění, Jednosměrné proudění, HEPA filtr, ULPA filtr, Clean room, Clean zone, Cleanliness, Class cleanness, Particle, Concentration particles, Classification, Classificatory number, Engaged condition clean room (occupancy states), as-built, at-rest, operational, non-unidirectional airflow, unidirectional airflow, HEPA filter, ULPA filter
Citation
TICHÝ, D. Návrh větrání čistého pracoviště pro elektrotechnický průmysl [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Technika prostředí
Comittee
doc. Ing. Eva Janotková, CSc. (předseda)
prof. Ing. Miroslav Jícha, CSc. (místopředseda)
prof. Ing. František Kavička, CSc. (člen)
prof. Ing. Milan Pavelek, CSc. (člen)
doc. Ing. Zdeněk Kratochvíl, CSc. (člen)
Ing. Stanislav Patočka, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2008-06-18
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení