Využití vybraných spektroskopických technik pro analýzu a-SiOC:H vrstev

Loading...
Thumbnail Image
Date
ORCID
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract
Táto bakalárska práca sa zaoberá prípravou tenkých vrstiev plazmových polymérov na báze tetravinylsilanu pomocou metódy plazmochemickej depozície z plynnej fázy a ich charakterizáciou pomocou vybraných spektroskopických techník. Teoretická časť je literárna rešerše z oblasti plazmochémie a spektroskopických metód charakterizácie tenkých vrstiev plazmových polymérov. Praktická časť pozostávala z prípravy dvoch sérii vzoriek a ich charakterizácie. Pripravené tenké vrstvy plazmových polymérov boli charakterizované pomocou vybraných spektroskopických techník. Hrúbka a optické parametre boli stanovené pomocou spektroskopickej elipsometrie. Chemická štruktúra bola charakterizovaná pomocou infračervenej spektroskopie. Výsledky poukazujú na možnosť riadiť fyzikálno-chemické vlastnosti tenkých vrstiev plazmových polymérov na báze tetravinylsilanu pomocou depozičných podmienok a teda na možnosť prípravy materiálov šitých na mieru pre najrôznejšie použitie.
This bachelor thesis deals with preparation of thin plasma polymer films on the basis of tetravinylsilane by plasma-enhanced chemical vapour deposition and film characterization by selected spectroscopic techniques. The theoretical part is a background research about plasma chemistry and spectroscopic methods of characterisation of thin plasma polymer films. The practical part consisted of preparation of two series of samples and their characterization. Prepared thin plasma polymer films were characterized by selected spectroscopic techniques. Thickness and optical constants were determined by spectroscopic elipsometry. Chemical structure was characterized by infrared spectroscopy. The results indicate the possibility of managing physico-chemical properties of thin plasma polymer films on the basis of tetravinylsilane by deposition conditions and thus possibility of preparation materials tailored to a variety of applications.
Description
Citation
ONDREÁŠ, F. Využití vybraných spektroskopických technik pro analýzu a-SiOC:H vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2012.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
sk
Study field
Chemie, technologie a vlastnosti materiálů
Comittee
prof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (místopředseda) prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen) doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen) prof. Ing. Tomáš Svěrák, CSc. (člen)
Date of acceptance
2012-06-19
Defence
Výborná prezentace výsledků zajímavé bakalářské práce. Diskuze k tématu potvrdila velmi dobré znalosti studenta v oblasti studia tenkých organických vrstev.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení
DOI
Collections
Citace PRO