Elektrodepozice tenkých tantalových vrstev z iontových roztoků a měření jejich elektrických vlastností
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Diplomová práce je zaměřena na elektrodepozici tantalu z iontového roztoku 1-butyl-1- methylpyrrolidinium bis(trifluoromethylsulfonyl) imide, ([BMP]Tf2N) při 200°C a popis souvisejících přenosových a kinetických jevů na fázovém rozhraní iontového roztoku a pracovní elektrody. Práce obsahuje literární rešerši týkající se elektrodepozice tantalových vrstev z různých iontových roztoků s obsahem tantalových solí a zejména využití iontového roztoku ([BMP]Tf2N). Výsledky cyklické voltametrie, povrchové analýzy SEM a prvkové analýzy EDX jsou uvedeny včetně diskuze k získaným výsledkům. V práci byla prokázána existence MIS (kov-izolant-polovodič) struktury, tvořené izolantem z porézní aluminy a polovodivou vrstvou TaxOy. Elektrická vodivost a kapacita dané MIS struktury byly detailně studovány s využitím ampér-voltových IV a CV charakteristik. Výsledky cyklické voltametrie, impedančního měření a chronoamperometrie jsou podrobně diskutovány.
The thesis is focused on the electrodeposition of tantalum from ionic solution 1-butyl-1- methylpyrrolidinium bis(trifluoromethylsulfonyl) imide, ([BMP]Tf2N) at 200°C and description of related transfer and kinetic phenomena on the interface between the ionic solution and working electrode. Furthermore, the electrodeposition of tantalum layers in different ionic solutions containing tantalum salts and especially in ([BMP]Tf2N) is introduced. In the last part of the thesis, results of cyclic voltammetry, surface analysis SEM and elemental analysis EDX are discussed. MIS (metal-insulator-semiconductor) structure was determined comprising porous anodic alumina as the insulator and semiconductive TaxOy on the top of the insulator. The electric conductivity of the MIS structures was studied by using amper-volt IV and CV characteristics. The results of the cyclic voltametry, impedance spectroscopy and chronoamperometry are discussed.
The thesis is focused on the electrodeposition of tantalum from ionic solution 1-butyl-1- methylpyrrolidinium bis(trifluoromethylsulfonyl) imide, ([BMP]Tf2N) at 200°C and description of related transfer and kinetic phenomena on the interface between the ionic solution and working electrode. Furthermore, the electrodeposition of tantalum layers in different ionic solutions containing tantalum salts and especially in ([BMP]Tf2N) is introduced. In the last part of the thesis, results of cyclic voltammetry, surface analysis SEM and elemental analysis EDX are discussed. MIS (metal-insulator-semiconductor) structure was determined comprising porous anodic alumina as the insulator and semiconductive TaxOy on the top of the insulator. The electric conductivity of the MIS structures was studied by using amper-volt IV and CV characteristics. The results of the cyclic voltametry, impedance spectroscopy and chronoamperometry are discussed.
Description
Keywords
redoxní reakce, přenosové jevy, iontové roztoky, elektrodepozice, cyklická voltametrie, MIS struktura, proud omezený prostorovým nábojem, IV charakteristika, Mott- Schottkyho analýza, redox processes, mass transport, ionic liquids, electrodeposition, cyclic voltammetry, MIS structure, space charge limited current, IV characteristic, Mott-Schottky analysis
Citation
SVOBODOVÁ, I. Elektrodepozice tenkých tantalových vrstev z iontových roztoků a měření jejich elektrických vlastností [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Biomedicínské inženýrství a bioinformatika
Comittee
prof. Ewaryst Tkacz, Ph.D.,D.Sc. (předseda)
doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Vratislav Harabiš, Ph.D. (člen)
Ing. Marina Ronzhina, Ph.D. (člen)
RNDr. Petr Fuchs, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-07
Defence
Študentka prezentovala výsledky svojej práce a komisia bola zoznámená s posudkami.
Študentka odpovedala na otázky od oponenta.
Doc. Hubálek položil otázku či nie je cyklická voltametria ovplyvnená oxido-redukčnými reakciami.
Doc. Hubálek sa spýtal prečo je zvýšené množstvo redukčných píkov na obrázku, ktorý odprezentovala študentka.
Doc. Hubálek položil otázku prečo je MIS štruktúra porézna.
Prof. Tkacz sa spýtal prečo je výhodné použiř tantal pre výrobu kapacitorov.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení