Expozice negativního fotorezistu s využitím prvků LED
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Cílem této práce je návrh a realizace expoziční jednotky pro negativní fotorezist s využitím LED diod vyzařujících v UV spektru. Ke správnému návrhu této jednotky je nezbytné porozumět fyzikálním zákonům zabývajících se světlem a vyzařováním. Hlavní část této práce se zabývá návrhem a konstrukcí LED maticového pole. Druhým krokem je testování tohoto pole. Další části jsou zaměřeny na návrh nebo volbu napájecího zdroje, vakuového rámu, časovače, řídící jednotky a dalších podpůrných systémů. Finální část je věnována popisu zařízení a návodu k obsluze.
The purpose of this work is conception and realization of exposition unit for negative photoresist with ultra violet light emitting diodes application. For conception of this unit is necessary understanding of physical laws about light and radiation. The major part of this work is dealing with conception and construction of LED matrix array. Second step is testing of this array. Next parts are aimed to conception or choose of power source, vacuum frame, timer controller, control unit and other support systems. Final part is devoted to device description and service manual.
The purpose of this work is conception and realization of exposition unit for negative photoresist with ultra violet light emitting diodes application. For conception of this unit is necessary understanding of physical laws about light and radiation. The major part of this work is dealing with conception and construction of LED matrix array. Second step is testing of this array. Next parts are aimed to conception or choose of power source, vacuum frame, timer controller, control unit and other support systems. Final part is devoted to device description and service manual.
Description
Citation
CHMELÍK, J. Expozice negativního fotorezistu s využitím prvků LED [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Radek Polanský, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2011-06-13
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Jaké problémy může způsobovat nehomogenita osvitu?
Jaké jiné uspořádání LED v osvitové jednotce bylo uvažováno?
Jaká je doporučená vlnová délka pro uvažovaný fotorezist?
Jak se liší propustnost přes použitou fólii a sklo?
Byla provedena zkouška rozptylu LED?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení