Depozice plazmových polymerů
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract
Tato bakalářská práce je zaměřena na charakterizaci a přípravu tenkých polymerních vrstev plazmochemickou depozicí z plynné fáze na plošný substrát z křemíku. Hlavní součástí práce je literární rešerše z oblasti plazmové polymerace a metod charakterizace tenkých polymerních vrstev. V experimentální části byly připraveny tenké polymerní vrstvy z par monomeru tetravinylsilanu. Připravené tenké vrstvy byly charakterizovány mikroskopickými a spektroskopickými technikami. Stanovené fyzikální a chemické vlastnosti připravených struktur byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky v nízkoteplotním plazmatu.
This bachelor thesis is focused on the characterization and preparation of thin polymer layers deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on silicon wafer. The main part of the work is a literature review about the plasma polymerization and methods of characterization of thin polymer layers. In the experimental section were prepared thin layers of polymer from the monomer vapor of tetravinylsilane. Prepared thin films were characterized by microscopic and spectroscopic techniques. The physical and chemical properties of deposited films were studied with respect to the deposition conditions in low-temperature plasma.
This bachelor thesis is focused on the characterization and preparation of thin polymer layers deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on silicon wafer. The main part of the work is a literature review about the plasma polymerization and methods of characterization of thin polymer layers. In the experimental section were prepared thin layers of polymer from the monomer vapor of tetravinylsilane. Prepared thin films were characterized by microscopic and spectroscopic techniques. The physical and chemical properties of deposited films were studied with respect to the deposition conditions in low-temperature plasma.
Description
Citation
MALÁ, M. Depozice plazmových polymerů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2010.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Chemie, technologie a vlastnosti materiálů
Comittee
prof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda)
prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (místopředseda)
prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen)
doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen)
prof. Ing. Tomáš Svěrák, CSc. (člen)
Date of acceptance
2010-06-23
Defence
Prezentace bakalářské práce byla provedena na velmi dobré formální i obsahové úrovni. Uchazečka prokázala velmi dobrou znalost řešené problematiky. Otázky oponenta i členů komise zodpověděla správně a prokázala, že výsledky práce jsou velmi zajímavé.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení