Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
První část této práce je teoretické pojednání o základech rastrovací elektronové mikroskopie, složení a funkci elektronového mikroskopu, jeho speciálním případu rastrovacím elektronovém mikroskopu pro vyšší tlak (VP SEM), interakci elektronů s prostředím a o scintilačním detektoru. Praktická část je zaměřena na vyhodnocení materiálového kontrastu na vzorku mědi a wolframu v závislosti na tlaku vodních par v komoře vzorku mikroskopu a podmínkách detekce.
First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of scanning electron microscopy, with structure and function of a scanning electron microscope, its’ special case of an various pressure scanning electron microscope, electron interaction with surrounding environment and with a scintillation detector. The applied part of the thesis is focused on evaluation of material contrast on Cu-W specimen. Material contrast is evaluated for different pressures of water vapors in the microscope specimen chamber and for different detection conditions.
First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of scanning electron microscopy, with structure and function of a scanning electron microscope, its’ special case of an various pressure scanning electron microscope, electron interaction with surrounding environment and with a scintillation detector. The applied part of the thesis is focused on evaluation of material contrast on Cu-W specimen. Material contrast is evaluated for different pressures of water vapors in the microscope specimen chamber and for different detection conditions.
Description
Citation
KOUDELA, O. Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Ivana Groligová, CSc. (člen)
Ing. Petr Špičák, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Špinka (člen)
Date of acceptance
2011-06-08
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Popište funkci scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení