Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Ve spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu nanostruktur. Pro komoru byl vyroben držák na vzorky umožňující zahřívání a chlazení vzorku. Na komoře je instalován skenovací elektronový mikroskop sloužící k analytickým a výrobním technikám. V průběhu zahřívaní při dochází k posunu obrazu vzorku vzhledem k tubusu SEMu, což zprůsobuje drift obrazu. Tato bakalářská práce navrhuje kompenzaci teplotního driftu pomocí algoritmu sledujicího polohu pužitím obrazové registrace založené na Fourierově transformaci. Byla navržena a implementována aplikace doplňující ovládací software SEMu, která byla prakticky otestována.
An ultra high vacuum apparatus for nanostructure experiments is being developed by the Tescan company in cooperation with the Institute of Physical Engineering of the Faculty of Mechanical Engineering. The apparatus is designed for preparation, modification, and analysis of nano-scale structures. A sample holder which allows heating and cooling has been developed for the apparatus. A scanning electron microscope is attached to the chamber to provide analytical and manufacturing capabilities. During experiments with heating enabled, the sample moves relative to the SEM column, causing drift of the image. This bachelor thesis proposes a solution to the problem of temperature drift by the means of motion tracking based on image registration using Fourier transform. An application complementary to the SEM control software which implements the algorithm was designed and tested at the instrument.
An ultra high vacuum apparatus for nanostructure experiments is being developed by the Tescan company in cooperation with the Institute of Physical Engineering of the Faculty of Mechanical Engineering. The apparatus is designed for preparation, modification, and analysis of nano-scale structures. A sample holder which allows heating and cooling has been developed for the apparatus. A scanning electron microscope is attached to the chamber to provide analytical and manufacturing capabilities. During experiments with heating enabled, the sample moves relative to the SEM column, causing drift of the image. This bachelor thesis proposes a solution to the problem of temperature drift by the means of motion tracking based on image registration using Fourier transform. An application complementary to the SEM control software which implements the algorithm was designed and tested at the instrument.
Description
Citation
HAKIRA, S. Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2018-06-21
Defence
Byly zodpovězeny otázky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení