Charakterizace struktur připravených selektivním mokrým leptáním křemíku

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorŠamořil, Tomášcs
dc.contributor.authorMetelka, Ondřejcs
dc.contributor.refereeMikulík, Petrcs
dc.date.accessioned2019-11-27T20:23:41Z
dc.date.available2019-11-27T20:23:41Z
dc.date.created2014cs
dc.description.abstractÚkolem diplomové práce bylo provedení optimalizace procesu přípravy kovové leptací masky pomocí elektronové litografie a následného selektivního mokrého leptání křemíku s krystalografickou orientací (100). Dále byla provedena charakterizace leptaného povrchu a vytvořených struktur. Konkrétně byla pozornost věnována morfologii znázorněné pomocí skenovací elektronové mikroskopie a studiu změny optických vlastností zlatých plazmonických antén vlivem jejich podleptání.cs
dc.description.abstractThe task of master’s thesis was to perform optimalization process for preparing metal etching mask by electron beam litography and subsequent selective wet ething of silicon with crystalographic orientation (100). Further characterization of etched surface and fabricated structures was performed. In particular, attention was given to the morphology demonstrated by scanning electron microscopy and study changes of the optical properties of gold plasmonic antennas due to their undercut.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationMETELKA, O. Charakterizace struktur připravených selektivním mokrým leptáním křemíku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2014.cs
dc.identifier.other72366cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/33665
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectKřemíkcs
dc.subjectelektronová litografiecs
dc.subjectEBLcs
dc.subjectskenovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectSEMcs
dc.subjectleptací maskacs
dc.subjectanizotropní mokré leptánícs
dc.subjecthydroxid draselnýcs
dc.subjectKOHcs
dc.subjectFTIRcs
dc.subjectplazmonový povrchový polaritoncs
dc.subjectefektivní index lomucs
dc.subjectSiliconen
dc.subjectelectron beam litographyen
dc.subjectEBLen
dc.subjectscanning electron microscopeen
dc.subjectSEMen
dc.subjectetching masken
dc.subjectanisotropic wet etchingen
dc.subjectpotassium hydroxideen
dc.subjectKOHen
dc.subjectFTIRen
dc.subjectsurface plasmon polaritonen
dc.subjecteffective refractive indexen
dc.titleCharakterizace struktur připravených selektivním mokrým leptáním křemíkucs
dc.title.alternativeCharacterization of structures fabricated by selective wet etching of siliconen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2014-06-24cs
dcterms.modified2014-06-25-08:09:23cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid72366en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.10 14:22:32en
sync.item.modts2021.11.10 13:22:29en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
5.17 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_72366.html
Size:
8.98 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_72366.html
Download
Collections
2014