Elektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIB

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorUrbánek, Michalcs
dc.contributor.authorOstřížek, Petrcs
dc.contributor.refereeKolíbalová, Evacs
dc.date.accessioned2019-11-27T20:22:46Z
dc.date.available2019-11-27T20:22:46Z
dc.date.created2011cs
dc.description.abstractTato práce se zabývá tvrobou nanostruktur a měřením jejich elektrotransportních vlastností. Pro tvorbu nanostruktur byly použity dvě základní metody - elektronová litografie spojená s naprašováním a fokusovaný iontový svazek ve spojení s depozicí z plynné fáze. U připravených nanostruktur - drátů byla pomocí čtyřbodové metody měřena volt-ampérová charakteristika, ze které se snadno získají hodnoty odporu materiálu. Zvoleným materiálem pro dráty připravené litografickými metodami byla slitina niklu a železa (permalloy). Materiál struktur připravených metodou depozice z plynné fáze pomocí fokusovaného iontového svazku byla platina.cs
dc.description.abstractThe aim of this work is fabrication of nanostructures and measurement of their electrotransport properties. There are two different methods used for fabrication - electron beam lithography with sputtering of thin films and focused ion beam with deposition from gas phase. I-V characteristic was measured for characterisation of as prepared nanostructures - wires. Material of wires prepared by using of electron beam lithography was permalloy - an alloy of iron and nickel. Second types of wires prepared by using of chemical vapor deposition induced by focused ion beam was platinum based.en
dc.description.markDcs
dc.identifier.citationOSTŘÍŽEK, P. Elektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIB [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011.cs
dc.identifier.other33809cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/8522
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectFokusovaný iontový svazekcs
dc.subjectelektronová litografiecs
dc.subjectvodivostcs
dc.subjectFocused ion beamen
dc.subjectelectron lithographyen
dc.subjectconductivityen
dc.titleElektrotransportní vlastnosti nanostruktur připravených metodou FIBcs
dc.title.alternativeElectrotransport properties of the nanostructures fabricated by the FIBen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2011-06-20cs
dcterms.modified2011-06-22-15:15:43cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid33809en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 21:21:02en
sync.item.modts2021.11.12 20:10:29en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
11.49 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.zip
Size:
2.65 MB
Format:
zip
Description:
final-thesis.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_33809.html
Size:
11.17 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_33809.html
Download
Collections
2011