Tenkovrstvé systémy
| but.committee | doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda) Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda) Ing. Miroslav Zatloukal (člen) Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Petr Vyroubal, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a komise. Otázky komise k obhajobě: 1. Proč se rozpustil titan v siranu? 2. Proč máte v práci různé tlaky a různé výšky vrstev? 3. Kolik vzorků jste dělal? 4. Jaký je váš závěr a doporučení nejlepší metody? | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Mikroelektronika a technologie | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Zatloukal, Miroslav | cs |
| dc.contributor.author | Kuchařík, Jan | cs |
| dc.contributor.referee | Máca, Josef | cs |
| dc.date.accessioned | 2020-06-25T06:56:46Z | |
| dc.date.available | 2020-06-25T06:56:46Z | |
| dc.date.created | 2020 | cs |
| dc.description.abstract | Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou tenkých vrstev na různé druhy substrátů. V rámci teoretické části je přehled tvorby tenkých vrstev pomocí několika technik. V práci se nachází přehled používaných procesů čištění substrátů před depozicí tenké vrstvy a nástroje pro vyhodnocování jejich vlastností. V jejím závěru je rozebrána metoda maskování. V experimentální části proběhlo seznamování s naprašovacím zařízením NP – 12 a výroba vzorků. Byla vyhodnocena adheze vyrobených vzorků. Následovala elektrodepozice vzorků s titanovým povlakem. Závěrem proběhlo maskování křemíkového substrátu. | cs |
| dc.description.abstract | This bachelor thesis concerns to create of thin films on various types of substrates. In the theoretical parts is an overview of the formation of thin films using several techniques. The thesis contains an overview of substrate cleaning processes before the deposition of layer plates and tools for evaluating their properties. Finally, the masking method is discussed. In the experimental part, the acquaintance with the NP - 12 sputtering device and the production of samples took place. The adhesion of the produced samples was evaluated. Electrolysis of samples with titanium coated followed. Finally, the silicon substrate was masked. | en |
| dc.description.mark | B | cs |
| dc.identifier.citation | KUCHAŘÍK, J. Tenkovrstvé systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2020. | cs |
| dc.identifier.other | 127073 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/190534 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Tenká vrstva | cs |
| dc.subject | elektrodepozice | cs |
| dc.subject | naprašování | cs |
| dc.subject | napařování | cs |
| dc.subject | tloušťka | cs |
| dc.subject | odpor na čtverec | cs |
| dc.subject | předúprava povrchu | cs |
| dc.subject | adheze | cs |
| dc.subject | maskování. | cs |
| dc.subject | Thin film layer | en |
| dc.subject | electrodeposition | en |
| dc.subject | sputtering | en |
| dc.subject | evaporation | en |
| dc.subject | thickness | en |
| dc.subject | resistance per square | en |
| dc.subject | surface pretreatment | en |
| dc.subject | adhesion | en |
| dc.subject | masking. | en |
| dc.title | Tenkovrstvé systémy | cs |
| dc.title.alternative | Thin-film systems | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2020-06-24 | cs |
| dcterms.modified | 2020-06-25-10:00:05 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 127073 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2021.11.10 12:58:16 | en |
| sync.item.modts | 2021.11.10 12:17:15 | en |
| thesis.discipline | bez specializace | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologie | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |