Řízení procesu reaktivního magnetronového naprašování

Simple item page
but.committeeprof. Ing. Jaromír Brzobohatý, CSc. (předseda) doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (místopředseda) doc. Ing. Jana Drbohlavová, Ph.D. (člen) Ing. Milan Šesták (člen) Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil státní zkušební komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky komise: 1) Jaká je reprodukovatelnost receptů?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorIng. Tomáš Fořt, Ph.D., ÚPT AVČR, Brnocs
dc.contributor.authorDušek, Jancs
dc.contributor.refereeBoušek, Jaroslavcs
dc.date.accessioned2018-10-21T17:40:01Z
dc.date.available2018-10-21T17:40:01Z
dc.date.created2014cs
dc.description.abstractBakalářská práce stručně popisuje technologii reaktivního magnetronového naprašování a zabývá se návrhem a realizací programu k jeho ovládání. K tomuto účelu byl vytvořen ovládací program pro řízení jednotlivých komponent aparatury PLS160 v programovacím prostředí LabView. Na základě znalostí technologického procesu a postupu reaktivního magnetronového naprašování byl vytvořen automatický program. Tento automatický program je možné modifikovat pomocí receptů. Vedle programové skladby byly provedeny mechanické a elektrické změny aparatury. Celý automatizovaný proces byl testován.cs
dc.description.abstractBachelor's thesis concisely describes technology of reactive magnetron sputtering and deals with the design and realization of controlling program. For this purpose it was created the control program for steering of individual components of apparatus PLS 160 in programming enviroment Labview. On basis of the knowledge of technological process and procedures of reactive magnetron sputtering the automatic program was created. This program can be modified using recipes. Besides program structures mechanical and electrical changes of apparatus were made. The entire automated process was tested.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationDUŠEK, J. Řízení procesu reaktivního magnetronového naprašování [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.cs
dc.identifier.other74185cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/34167
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectLabViewcs
dc.subjectregulátory průtokucs
dc.subjectvakuometr Baratroncs
dc.subjectpřevodník PR 4000B-Fcs
dc.subjectCOM portycs
dc.subjectgenerátor Cesar 136cs
dc.subjectpulzní generátor Pinnacle Pluscs
dc.subjectmodul Quido USB 8/8cs
dc.subjectLabViewen
dc.subjectflow regulatorsen
dc.subjectvacuum gauge Baratronen
dc.subjectconverter PR 4000B-Fen
dc.subjectCOM portsen
dc.subjectgenerator Cesar 136en
dc.subjectpulse generator Pinnacle Plusen
dc.subjectmodule Quido USB 8/8en
dc.titleŘízení procesu reaktivního magnetronového naprašovánícs
dc.title.alternativeControl of reactive magnetron sputteringen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2014-06-16cs
dcterms.modified2014-06-19-08:27:28cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid74185en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.22 21:59:35en
sync.item.modts2021.11.22 21:38:23en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.42 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
2.63 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_74185.html
Size:
6.26 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_74185.html
Download
Collections
2014