Show simple item record

Scintillation SE Detector for VP SEM

dc.contributor.advisorJirák, Josefcs
dc.contributor.authorKozelský, Adamcs
dc.date.accessioned2019-04-03T22:49:10Z
dc.date.available2019-04-03T22:49:10Z
dc.date.created2009cs
dc.identifier.citationKOZELSKÝ, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.cs
dc.identifier.other23141cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/2884
dc.description.abstractTato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.cs
dc.description.abstractThis work contains description of basic properties and principles of electron microscopy focused on scanning electron microscopy. It describes construction solutions of a microscope, interaction between electron beam and sample, generation of backscattered and secondary electrons. Next chapters are dealing with development of electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. The experimental part of this thesis is focuses on the detection of secondary electrons with scintillation detector in environmental scanning electron microscope at higher pressure in the specimen chamber. Concretely is focused on optimization of collecting grid voltage and measurement of pressure dependences.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectRastrovací elektronový mikroskop (REM)cs
dc.subjecttransmisní elektronová mikroskopie (TEM)cs
dc.subjectelektronová tryskacs
dc.subjectsekundární elektrony (SE)cs
dc.subjectzpětně odražené elektrony (BSE)cs
dc.subjectscintilační detektor (SD)cs
dc.subjectenvironmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM).cs
dc.subjectScanning electron microscope (SEM)en
dc.subjecttransmission electron microscopy (TEM)en
dc.subjectelectron gunen
dc.subjectsecondary electrons (SE)en
dc.subjectback scattered electrons (BSE)en
dc.subjectscintillation detector (SD)en
dc.subjectenvironmental scanning electron microscope (ESEM)en
dc.titleScintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorkucs
dc.title.alternativeScintillation SE Detector for VP SEMen
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2009-06-12cs
dcterms.modified2009-07-07-11:45:16cs
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
sync.item.dbid23141en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.30 21:01:18en
sync.item.modts2020.03.30 20:50:24en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.contributor.refereeČudek, Pavelcs
dc.description.markAcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
but.committeeprof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (předseda) Ing. Zdenka Rozsívalová (místopředseda) doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Kubelka (člen) doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil státní zkušební komisi se zadáním, zpracováním a výsledky své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky u obhajoby: Jak se měří tlak vodních par? Jaké barometry používáte?cs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record