Adheze a-SiOC:H vrstev na plošných substrátech

but.committeeprof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaromír Havlica, DrSc. (místopředseda) prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen) doc. RNDr. Jaroslav Petrůj, CSc. (člen) prof. Ing. Tomáš Svěrák, CSc. (člen)cs
but.defenceVýborně prezentovaná bakalářská práce. Diskuze se členy komise proběhla na velmi vysoké odborné úrovni studenta.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programChemie a chemické technologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČech, Vladimírcs
dc.contributor.authorLepcio, Petrcs
dc.contributor.refereeSalyk, Otacs
dc.date.accessioned2019-05-17T13:27:29Z
dc.date.available2019-05-17T13:27:29Z
dc.date.created2012cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá přípravou tenkých vrstev plazmových polymerů připravených metodou plazmochemické depozice z plynné fáze na plošných substrátech. Jako monomer byl použit tetravinylsilan. Byly připraveny dvě série vzorků. Vzorky první série byly připraveny při různých hodnotách efektivního výkonu z čistého tetravinylsilanu a vzorky druhé série byly připraveny z depoziční směsi tetravinylsilanu s různým obsahem kyslíku při stejném efektivním výkonu. Tloušťka vrstev byla stanovena spektroskopickou elipsometrií a chemická struktura infračervenou spektroskopií. Pro určení míry adheze byla použita vrypová zkouška, ze které byla stanovena kritická normálová síla selhání adheze vrstev. Podoba provedených vrypů byla získána pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM). Ze získaných dat byla posouzena možnost zlepšení adheze změnou efektivního výkonu a obsahu kyslíku v depoziční směsi.cs
dc.description.abstractThis bachelor thesis deals with preparation of thin films of plasma polymers prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition. Tetravinylsilane was used as a monomer. Two sets of samples were prepared. Samples of the first set were prepared at different effective powers from pure tetravinylsilane and samples of the second set were prepared from deposition mixture of tetravinylsilane with different oxygen content at constant effective power. The film thickness was evaluated by spectroscopic ellipsometry and chemical structure by infrared spectroscopy. A scratch test was used to determine adhesion characterized by the critical normal load. An appearance of performed scratches was obtained by atomic force microscopy (AFM). Film adhesion influenced by the effective power and oxygen content in deposition mixture was discussed based on the received data.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationLEPCIO, P. Adheze a-SiOC:H vrstev na plošných substrátech [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2012.cs
dc.identifier.other41469cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/4642
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemickács
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectPlazmové polymerycs
dc.subjectPECVDcs
dc.subjecttetravinylsilancs
dc.subjectspektroskopická elipsometriecs
dc.subjectadhezecs
dc.subjectvrypová zkouškacs
dc.subjectmikroskopie atomárních sil (AFM)cs
dc.subjectPlasma polymersen
dc.subjectPECVDen
dc.subjecttetravinylsilaneen
dc.subjectspectroscopic ellipsometryen
dc.subjectadhesionen
dc.subjectscratch testen
dc.subjectatomic force microscopy (AFM)en
dc.titleAdheze a-SiOC:H vrstev na plošných substrátechcs
dc.title.alternativeAdhesion of a-SiOC:H films on planar substratesen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2012-06-19cs
dcterms.modified2012-06-21-09:19:10cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta chemickács
sync.item.dbid41469en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 13:56:39en
sync.item.modts2021.11.12 13:03:32en
thesis.disciplineChemie, technologie a vlastnosti materiálůcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav chemie materiálůcs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.63 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_41469.html
Size:
6.83 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_41469.html
Collections